安科瑞 鮑靜君

　　半導(dǎo)體是許多工業(yè)整機(jī)設(shè)備的核心，普遍應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、通信、消費(fèi)電子、汽車、工業(yè)/醫(yī)療、軍事/政府等核心領(lǐng)域。為鼓勵(lì)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展，突破產(chǎn)業(yè)瓶頸，我國(guó)出臺(tái)等多項(xiàng)政策支持半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展，為半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供良好的發(fā)展環(huán)境。為應(yīng)對(duì)國(guó)外技術(shù)出口管制風(fēng)險(xiǎn)，多家中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)也增加了材料國(guó)產(chǎn)化率要求，加快了國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料研發(fā)進(jìn)度。生產(chǎn)半導(dǎo)體的廠房使用到的大部分電子產(chǎn)品采用了非線性的可控變流裝置、變頻調(diào)速裝置等負(fù)荷，其產(chǎn)生的諧波問題導(dǎo)致了公用電網(wǎng)電能品質(zhì)降低。若不治理，不僅會(huì)影響設(shè)備的正常運(yùn)行，嚴(yán)重時(shí)甚至?xí){患者的生命安全，因此對(duì)半導(dǎo)體廠房供配電系統(tǒng)電能質(zhì)量治理的深入分析研究勢(shì)在必行。

　　01主要諧波源

　　半導(dǎo)體芯片加工電子廠房主要諧波源為單晶爐、多晶爐。

　　目前大多數(shù)單晶爐是采用中頻感應(yīng)電源加熱的工作方式，中頻電源的主電路形式有很多種，根據(jù)負(fù)載諧振回路的不同，一般可分為并聯(lián)逆變式、串聯(lián)逆變式和串并聯(lián)混合逆變式。

　　單晶爐、多晶爐、IC測(cè)試臺(tái)、PLC控制的機(jī)械手、芯片制造用的晶圓機(jī)或變頻控制的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)都會(huì)產(chǎn)生大量的諧波，他們不但會(huì)造成機(jī)臺(tái)設(shè)備自身的壞機(jī)現(xiàn)象，回流進(jìn)電網(wǎng)的諧波電流還會(huì)引起其它回路的發(fā)熱，電子開關(guān)誤動(dòng)作、供電電壓不穩(wěn)，甚至生產(chǎn)線停線、半成品的報(bào)廢，其損失不可謂不大。而且高能設(shè)備如：外延設(shè)備、擴(kuò)散設(shè)備、離子注入設(shè)備的頻繁加卸載，更加重了用電環(huán)境的惡化。

　　02

　　諧波對(duì)配電系統(tǒng)的危害

　　2.1對(duì)電網(wǎng)的影響

　　首先，導(dǎo)致電網(wǎng)功率消耗增大、設(shè)備試用時(shí)間降低、接地保護(hù)功能和遙控功能出現(xiàn)異常、線路與設(shè)備熱量增大等。

　　特別是三次諧波導(dǎo)致非常大的中性線電流，造成配電變壓器零線電流大于相線電流數(shù)值，致使設(shè)備不能平穩(wěn)運(yùn)行。

　　因此，諧波還能引發(fā)造成諧振在電網(wǎng)中發(fā)生，則會(huì)將運(yùn)行正常的供電停止、情況嚴(yán)重、電網(wǎng)解裂等情況發(fā)生。

　　其次，諧振造成變電站局部并聯(lián)與串聯(lián)，致使電壓互感器設(shè)施損壞；造成變電站系統(tǒng)當(dāng)中的設(shè)備與元件生成附加的諧波損耗，導(dǎo)致電力變壓器、電力電纜、電動(dòng)機(jī)等設(shè)備溫度上升，電容器損壞。

　　進(jìn)而促進(jìn)了絕緣材料發(fā)生質(zhì)變的速率；造成斷路器電弧熄滅時(shí)長(zhǎng)變長(zhǎng)，阻礙斷路器正常開端功能；

　　導(dǎo)致電子元器件的繼續(xù)電保護(hù)或主動(dòng)裝置發(fā)生操縱失誤；

　　阻止了電子儀表與通信系統(tǒng)的正常化運(yùn)行，減少通信質(zhì)量；增加接近電磁振蕩。

　　2.2對(duì)用電安全造成的影響

　　第一，失火造成災(zāi)害。有些意外失火狀況的起因多數(shù)跟電力諧波有聯(lián)系?，F(xiàn)階段節(jié)能燈、調(diào)光器設(shè)施中關(guān)開電源很普及，最初為了節(jié)約能源，之后這些設(shè)施卻產(chǎn)生了諧波源，導(dǎo)致電網(wǎng)的危險(xiǎn)系數(shù)增加。在相關(guān)測(cè)驗(yàn)之后，運(yùn)用電器設(shè)施很多的酒店、寫字樓、小區(qū)等，如果不做濾波等舉措，最終中性線電流很強(qiáng)，嚴(yán)重的超出線電流，結(jié)果就會(huì)變成失火的潛在安全風(fēng)險(xiǎn)。

　　第二，有關(guān)設(shè)備損壞。電能質(zhì)量附著上臟物會(huì)帶給繼電保護(hù)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)與精細(xì)儀器和機(jī)械等，造成其不能平穩(wěn)運(yùn)轉(zhuǎn)和操控，減少設(shè)施利用期限，進(jìn)而導(dǎo)致繼電保護(hù)錯(cuò)誤操作出現(xiàn)可避免的意外損失，造成不同情況的干擾。第三，通信擾亂。其電網(wǎng)擾亂的主要因素為發(fā)生諧波，通過基本靜電感應(yīng)和電磁感應(yīng)，經(jīng)過通信線路導(dǎo)致聲頻混亂。其諧波頻率提升，則會(huì)有雜音問題，通過通信線路上導(dǎo)致音頻混亂。之后采取遮蔽電纜通信，基本上可以消滅靜電感應(yīng)的作用，最終還是不可能消滅電磁感應(yīng)的擾亂。

　　2.3 諧波對(duì)于電氣設(shè)備產(chǎn)生的影響

　　第一，電力電容器產(chǎn)生的影響。而電容器在電網(wǎng)無功配置容量中占有比重很大，其中少數(shù)電容器安排只參照無功補(bǔ)償量，不會(huì)參照裝置點(diǎn)電能質(zhì)量現(xiàn)實(shí)存在的污染狀況。至此，運(yùn)行點(diǎn)電能質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)過低，經(jīng)常出現(xiàn)意外損失，比如：安裝不了補(bǔ)償裝置、分開電容器保護(hù)熔絲，惡劣情況下會(huì)出現(xiàn)串聯(lián)并聯(lián)諧振，造成電容器諧波過電壓與過電流，導(dǎo)致電容器開裂。

　　第二，變壓器產(chǎn)生影響。諧波電流在變壓器中發(fā)生，致使銅耗提高，造成局部過熱、震蕩、聲音增大、繞組附加過熱等。其變壓器中的諧波電流被勵(lì)磁電流所包含，致使合閘涌流之后諧波電流提升，出現(xiàn)的諧波電流導(dǎo)致諧振問題，結(jié)果造成變壓器的日常運(yùn)行有風(fēng)險(xiǎn)。

　　第三，同步發(fā)電機(jī)產(chǎn)生的影響。在系統(tǒng)里面的同步發(fā)電機(jī)中流入負(fù)序電流與諧波電流，造成多余的損耗，導(dǎo)致發(fā)電機(jī)局部過熱，絕緣力度降低。由于多余諧波分量在輸出電壓波形產(chǎn)生，導(dǎo)致扭振現(xiàn)象在負(fù)載同步發(fā)電機(jī)轉(zhuǎn)子中發(fā)生，運(yùn)用時(shí)間縮短。

　　第四，斷路器產(chǎn)生的影響。局部斷路器磁吹線圈不能正常運(yùn)行是由諧波造成的，致使遮斷能力降低，不能遮斷波形畸變率大于一般控制的故障電流，導(dǎo)致中壓斷路器阻止電流，則會(huì)使諧頻涌波電壓與重燃情況發(fā)生，導(dǎo)致斷路器觸頭斷開。

　　第五，自動(dòng)控制器產(chǎn)生的影響?，F(xiàn)如今，數(shù)字控制技術(shù)已投入到更加廣泛領(lǐng)域，諸多精細(xì)負(fù)載針對(duì)受電電能質(zhì)量指標(biāo)有更高要求?；诖?，電能質(zhì)量被沾上臟物則會(huì)導(dǎo)致設(shè)備的監(jiān)測(cè)模塊中引發(fā)畸變量、擾亂一般分解計(jì)算、造成出錯(cuò)的輸出結(jié)果的損害。

　　03諧波治理和解決方案

　　3.1解決方案

　　半導(dǎo)體芯片制造業(yè)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中起著舉足輕重的作用，相關(guān)企業(yè)的規(guī)模也越來越大，其供配電系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠的運(yùn)維不僅是其安全生產(chǎn)的基本保證，還關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)的順利進(jìn)行。集成電路芯片制造業(yè)屬于資金和技術(shù)高度密集的精密制造行業(yè)，在生產(chǎn)過程中大規(guī)模使用電子器件和集成電路且自動(dòng)化程度比較高。集成電路芯片制造關(guān)鍵設(shè)備多、工位器具多、工藝步驟繁多復(fù)雜。除供配電系統(tǒng)外，還需傳送系統(tǒng)、超純水凈化系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣冷風(fēng)冷系統(tǒng)、特殊氣體分配系統(tǒng)來保證生產(chǎn)過程的順利實(shí)施以及關(guān)鍵設(shè)備的安全運(yùn)行。由于整個(gè)工廠的生產(chǎn)條件最終通過電能供給來實(shí)現(xiàn)，因此半導(dǎo)體芯片制造對(duì)供電質(zhì)量要求特別高。

　　安科瑞電氣提出的電能質(zhì)量監(jiān)測(cè)與治理系統(tǒng)解決方案可滿足電力監(jiān)控管理、運(yùn)維與電能質(zhì)量治理等方面的需求，致力于為高速公路行業(yè)用戶提供一站式的整體解決方案，從產(chǎn)品、系統(tǒng)、服務(wù)等不同方面來滿足用戶的需要，為用戶創(chuàng)造價(jià)值。

　　3.2方案特點(diǎn)

　　01、電能質(zhì)量監(jiān)測(cè)與治理系統(tǒng)即可通過本地設(shè)備為用戶提供電能質(zhì)量監(jiān)測(cè)、治理與設(shè)備運(yùn)維等功能，亦可通過接入AcrelEMS-SEMI電站廠房能效管理平臺(tái)，為用戶提供遠(yuǎn)程在線服務(wù)；

　　02、符合GB/T17626.30-2012中準(zhǔn)確度測(cè)量方法，適用于要求準(zhǔn)確測(cè)量電能質(zhì)量指標(biāo)參數(shù)的場(chǎng)合；

　　03、專業(yè)化的電能質(zhì)量監(jiān)測(cè)：電能質(zhì)量實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)，測(cè)量精度高、測(cè)得準(zhǔn)，符合IEC61000-4-30標(biāo)準(zhǔn)；

　　04、電能質(zhì)量監(jiān)測(cè)與治理裝置信息互聯(lián)，通過統(tǒng)一平臺(tái)管理，方便用戶同時(shí)監(jiān)測(cè)電網(wǎng)電能質(zhì)量以及治理數(shù)據(jù)；

　　05、采用三電平電力電子驅(qū)動(dòng)器件，通過更多的電平輸出更高品質(zhì)的治理波形。

　　3.3 方案效果

　　01對(duì)電網(wǎng)電能質(zhì)量高精度的實(shí)時(shí)監(jiān)控，包括電壓偏差、頻率偏差、諧波、電壓波動(dòng)、閃變、三相電壓不平衡等。同時(shí)可對(duì)故障事件進(jìn)行記錄，對(duì)監(jiān)測(cè)點(diǎn)負(fù)荷曲線及電壓電流、電壓偏差、不平衡度、閃變等進(jìn)行趨勢(shì)分析，用戶可以通過系統(tǒng)查看發(fā)生告警的事件波形、趨勢(shì)分析，亦可根據(jù)監(jiān)測(cè)點(diǎn)的電能質(zhì)量情況統(tǒng)計(jì)分析生成電能質(zhì)量診斷報(bào)告。

　　02通過集中補(bǔ)償+就地補(bǔ)償?shù)闹卫聿呗?，更高效的補(bǔ)償整個(gè)數(shù)據(jù)中心的無功和諧波，提高數(shù)據(jù)中心內(nèi)系統(tǒng)電能質(zhì)量、用電設(shè)備供電效率，大幅度降低設(shè)備故障率，達(dá)到數(shù)據(jù)中心內(nèi)自動(dòng)化設(shè)備對(duì)電源質(zhì)量的要求，可有效解決諧波的干擾及誤跳閘問題。

　　03系統(tǒng)提供多維度的用電指標(biāo)統(tǒng)計(jì)與電能數(shù)據(jù)分析工具，為配電系統(tǒng)運(yùn)行管理優(yōu)化和節(jié)能損耗提供指導(dǎo)。

　　4安科瑞電能質(zhì)量監(jiān)測(cè)與治理產(chǎn)品選型

　　4.1 集中治理

　　電子廠房?jī)?nèi)會(huì)使用到如風(fēng)機(jī)、空調(diào)等等電器，這些電器分布較為分散，且單一的設(shè)備產(chǎn)生的諧波量較少，且為確保無功功率因數(shù)達(dá)到國(guó)標(biāo)要求值，避免罰款，在配電房處對(duì)這些負(fù)載產(chǎn)生的電能質(zhì)量問題進(jìn)行集中治理，同時(shí)也可對(duì)整個(gè)低壓供配電系統(tǒng)進(jìn)行電能質(zhì)量在線監(jiān)測(cè)，其中包含諧波分析、波形采樣、電壓暫降/暫升/中斷、閃變監(jiān)測(cè)等，

　　01電能質(zhì)量在線監(jiān)測(cè)裝置

　　110kV及以下供電系統(tǒng)諧波分析、波形采樣、電壓暫降/暫升/中斷、閃變監(jiān)測(cè)、電壓不平衡度監(jiān)測(cè)、事件記錄、測(cè)量控制等功能為一體

　　02APM系列多功能網(wǎng)絡(luò)儀表

　　全電量測(cè)量、電能統(tǒng)計(jì)、電能質(zhì)量分析（包括諧波、間諧波、閃變）、故障錄波功能(包括電壓暫升暫降中斷、沖擊電流等記錄)、事件記錄功能及網(wǎng)絡(luò)通訊等功能，主要用于電網(wǎng)供電質(zhì)量的綜合監(jiān)控。

　　03有源諧波治理系統(tǒng)

　　采用DSP+FPGA全數(shù)字控制方式，并聯(lián)在系統(tǒng)中，兼補(bǔ)諧波和無功；

　　04有源無功補(bǔ)償系統(tǒng)

　　具備無功功率線性補(bǔ)償、三相電流平衡治理和穩(wěn)定電壓的功能，同時(shí)可濾除5、7、11、13次以內(nèi)的諧波；

　　05混合動(dòng)態(tài)諧波無功補(bǔ)償系統(tǒng)

　　同時(shí)具備諧波治理、無功功率線性補(bǔ)償與三相電流平衡治理和穩(wěn)定電壓的功能；

　　諧波補(bǔ)償次數(shù)：2-51次，可對(duì)2次～31次諧波電流進(jìn)行全補(bǔ)償，或僅對(duì)諧波進(jìn)行補(bǔ)償；

　　4.2 就地治理

　　電子廠房在生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的過程中需要使用到可控變流裝置、變頻調(diào)速裝置等負(fù)荷，這些設(shè)備在運(yùn)行過程中會(huì)產(chǎn)生大量的諧波污染電網(wǎng)，如果不從源頭治理會(huì)影響到電壓的畸變率，最終會(huì)造成其他負(fù)載的損壞。同時(shí)如電子廠房

　　針對(duì)以上負(fù)載情況，建議在各重要設(shè)備的配電箱增加電能質(zhì)量補(bǔ)償設(shè)備進(jìn)行就地治理，達(dá)到終端治理諧波的目的，避免諧波影響到整個(gè)配電系統(tǒng)和其他用電設(shè)備。

　　01有源無功補(bǔ)償系統(tǒng)裝置

　　具備無功功率線性補(bǔ)償、三相電流平衡治理和穩(wěn)定電壓的功能，同時(shí)可濾除5、7、11、13次以內(nèi)的諧波；

　　具備自動(dòng)檢測(cè)運(yùn)行、測(cè)量監(jiān)視和定值設(shè)定功能

　　02中線安防保護(hù)器

　　DSP+FPGA控制方式，響應(yīng)時(shí)間短，全數(shù)字控制算法；

　　末端治理，可濾除中性線中由3N次諧波或三相不平衡造成的過大電流；

　　03諧波保護(hù)器

　　吸收3kHz~10MHz頻率各種能量的諧波干擾；

　　消除高次諧波、高頻噪聲、脈沖尖峰、浪涌等干擾；

　　矯正電壓、電流波形，克服由于高頻諧波污染引起的干擾，保障設(shè)備的安全運(yùn)行。

　　04有源諧波治理系統(tǒng)裝置

　　壁掛式，可進(jìn)行末端諧波治理；

　　功能設(shè)置：只補(bǔ)償諧波、只補(bǔ)償無功、既補(bǔ)償諧波又補(bǔ)償無功；

　　保護(hù)類型：直流過壓保護(hù)、IGBT過流保護(hù)、裝置過溫保護(hù)、輸出限幅保護(hù)等；

　　半導(dǎo)體材料技術(shù)在國(guó)內(nèi)的發(fā)展促使很多半導(dǎo)體加工設(shè)備投入使用，這些設(shè)備普遍采用了電力電子變流和控制器件。這些設(shè)備在工作的同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生大量的諧波，它們不但會(huì)造成機(jī)臺(tái)設(shè)備自身的壞機(jī)現(xiàn)象，回流進(jìn)電網(wǎng)的諧波電流還會(huì)引起其它回路的發(fā)熱、電子開關(guān)誤動(dòng)作、供電電壓不穩(wěn)，甚至引起生產(chǎn)線停線、半成品的報(bào)廢。因此，安科瑞為電子廠房行業(yè)提供了一套完整的電能治理監(jiān)測(cè)與治理的系統(tǒng)解決方案，使電子廠房的電能質(zhì)量問題得到了有效的治理。從成本、性能、可靠性等角度綜合考慮，該方法具有較高的性價(jià)比。